【英文标准名称】:Semiconductordevices-Micro-electromechanicaldevices-Part5:RFMEMSswitches
【原文标准名称】:半导体器件.微电机装置.第5部分:射频(RF)微电子机械系统(MEMS)开关
【标准号】:IEC62047-5Corrigendum1-2012
【标准状态】:现行
【国别】:国际
【发布日期】:2012-03
【实施或试行日期】:
【发布单位】:国际电工委员会(IX-IEC)
【起草单位】:IEC/SC47F
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:使用;特征;组件;定义(术语);电气工程;高频;层;材料;测量;测量技术;微电子学;微系统工艺;性能;半导体器件;开关;系统工程;试验;测试条件
【英文主题词】:Applications;Characteristics;Components;Definitions;Electricalengineering;Highfrequencies;Layers;Materials;Measurement;Measuringtechniques;Microelectronics;Microsystemtechniques;Properties;Semiconductordevices;Switches;Systemengineering;Testing;Testingconditions
【摘要】:
【中国标准分类号】:L40
【国际标准分类号】:31_080_01;31_220_01
【页数】:1P;A4
【正文语种】:英语